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氮化硅粉合成爐
發(fā)布時間: 2022-10-13 17:45
本氮化硅合成爐，主要適用于硅粉與氮氣在高溫下合成氮化硅粉之用。是目前高純氮化硅制備的首選生產(chǎn)性爐型，目前為國內(nèi)外大多數(shù)氮化硅粉廠家使用。
設備技術(shù)參數(shù)
項目 | 內(nèi)容 |
電源電壓 | 380V*3相、50HZ |
額定功率 | 120KW（40KW*3） |
最高溫度 | 1600℃ |
常用溫度 | 0-1550℃ |
爐溫均勻性 | ±5℃ |
工作尺寸 | 500*500*1500mm（W*H*L) |
極限真空度 | 10pa(空爐冷態(tài)經(jīng)凈化） |
控溫方式 | 可編程程序化自動控制 |
控溫方式 | 鎢錸熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
電氣連鎖 | 超溫、超壓、過流、水欠壓（流）連鎖及報警 |
詳情請與銷售人員聯(lián)系。
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本部:上海市東方路3601號7號樓303室
廠址:上海市南匯工業(yè)園區(qū)陶橋路28號3幢
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